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Aera FC-D980C MFC Mass Flow Controller 200 SCCM CL2 4-VCR Lam Research Japan

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Label markings: “TC FC-D980C / 200 SCCM / CL₂ / A00011312.”. Manufactured byAera Japan Ltd., made in Japan. Full-Scale Flow: 200 SCCM. Mount Type: Inline, Horizontal Flow Direction → Marked on unit.

Acerca de este artículo

Identificadores del producto

MarcaAERA

MPNFCD980C

eBay Product ID (ePID)21019079711

Características principales del producto

Tipo de unidadUnidad

Ratio de flujo máximo500 SCCM

Tipo de gasCl2 [Cloro]

Diámetro del puerto0,63 cm

Cantidad de unidades1

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